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摘 要：電子回旋共振（Electron Cyclotron Resonance，ECR）等離子體源是用來產(chǎn)生單電荷態(tài)離子束的等離子體裝置，它可以產(chǎn)生束流較強(qiáng)或者較高的電荷態(tài)離子，同時(shí)還能提供束流的穩(wěn)定性、重復(fù)性和工作壽命。引出系統(tǒng)的設(shè)計(jì)對ECR等離子體源是至關(guān)重要的，引出系統(tǒng)對等離子體的引出束流有直接影響，良好的引出系統(tǒng)設(shè)計(jì)可以提高引出束流強(qiáng)度。（剩余5327字）
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2.45GHz ECR等離子體源引出系統(tǒng)初步設(shè)計(jì)
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