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LPCVD法制備多晶硅薄膜分析

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摘要：研究了低壓化學(xué)氣相沉積法（Low Pressure Chemical Vapor Deposition，LPCVD）制備TOPCon電池用多晶硅層的原理及優(yōu)劣。TOPCon電池是一種高效率、低成本、適用于規(guī)模化生產(chǎn)的n型電池，其背面鈍化層采用了隧穿氧化層與n型多晶硅層的疊層結(jié)構(gòu)。（剩余5059字）

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