基于鎖定放大技術(shù)的真空度檢測(cè)系統(tǒng)

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摘  要： 針對(duì)中低真空環(huán)境真空度測(cè)量精度低的問(wèn)題，在定溫電橋再平衡法的基礎(chǔ)上，提出一種交流定溫鎖定放大真空度檢測(cè)方法。定溫電橋的失調(diào)電壓信號(hào)經(jīng)過(guò)前置放大、帶通濾波后進(jìn)入相敏檢測(cè)環(huán)節(jié)，利用鎖定放大技術(shù)對(duì)采集到的失調(diào)電壓信號(hào)進(jìn)行處理。該方法能夠提高檢測(cè)系統(tǒng)的信噪比，使失調(diào)電壓的測(cè)量精度獲得提升。（剩余9045字）