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襯底溫度對熱絲CVD法沉積氧化鎢的影響研究

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摘 要:通過熱絲化學氣相沉積法制備氧化鎢(WOx)薄膜,并將其應用于無摻雜異質(zhì)結(jié)太陽電池。研究表明,襯底溫度在沉積過程中起著重要作用,襯底溫度從室溫升高到200 ℃,WOx薄膜的表面顆粒尺寸減小,薄膜更加致密;功函數(shù)先升高再迅速下降;透過率在150 ℃以內(nèi)無明顯變化,繼續(xù)升高溫度后迅速降低。通過取代p型非晶硅層,將其應用于無摻雜硅異質(zhì)結(jié)太陽電池中作為空穴選擇接觸層。(剩余15291字)

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