連續(xù)拉晶過程中石英坩堝內(nèi)氣泡的變化規(guī)律研究

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摘 要：針對石英坩堝在連續(xù)拉晶過程中需要長時(shí)間在溫場和壓力的環(huán)境下起到承載硅熔體作用的問題，提出內(nèi)部的氣泡變化可能會引起拉晶過程中晶棒的“斷線”問題。針對石英坩堝內(nèi)氣泡在直拉單晶硅前后的變化規(guī)律和溫度變化情況分別進(jìn)行實(shí)驗(yàn)和模擬研究。結(jié)果表明，使用過的試樣中氣泡含量高于未使用過的試樣，石英坩堝在使用前后的試樣中觀察到[φ=10～100] μm的氣泡較多，其中外壁[φ=100～200] μm的氣泡明顯增多，內(nèi)壁的氣泡在石英坩堝使用前后明顯長大，側(cè)壁、拐角和底部的氣泡變化較為平均，拐角處在較高溫度下約[φ=200] μm的氣泡較多，隨著拉晶過程的進(jìn)行晶棒出現(xiàn)“斷線”現(xiàn)象的可能增大。（剩余8794字）