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中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所研究員歐欣團隊聯(lián)合瑞士洛桑聯(lián)邦理工學院的托比亞斯·基彭貝格團隊,在鉭酸鋰異質集成晶圓及高性能光子芯片制備領域取得突破性進展。(剩余15字)
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研究人員開發(fā)新型光學“硅”與芯片技術
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