一種5倍暗場(chǎng)金相物鏡的設(shè)計(jì)

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摘  要：為解決現(xiàn)有5倍暗場(chǎng)金相物鏡照明亮度低且不均勻的問(wèn)題，采用一體化設(shè)計(jì)新方法。首先通過(guò)選擇光學(xué)結(jié)構(gòu)，在光學(xué)設(shè)計(jì)軟件ZEMAX中合理設(shè)置操作數(shù)，利用光學(xué)軟件設(shè)計(jì)優(yōu)化出光學(xué)系統(tǒng)；然后依據(jù)暗場(chǎng)照明約束條件設(shè)置反射光線，利用CAD軟件設(shè)計(jì)出反射曲面。通過(guò)光學(xué)傳遞函數(shù)、暗場(chǎng)照明光束利用率、光斑尺寸和光斑均勻度等參數(shù)對(duì)物鏡性能進(jìn)行評(píng)價(jià)。（剩余6477字）