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SiO 2 水汽阻擋能力提升研究

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摘要：針對薄膜應(yīng)力的控制中，文章分別分析了應(yīng)力與射頻功率和反應(yīng)壓強的關(guān)系。為了提高制備SiO2膜的致密度和沉積速率，課題組討論了通過調(diào)整射頻功率、溫度、壓強、對二氧化硅薄膜致密度和沉積速率的影響。為使SiO2水汽阻隔更佳，也討論了SiO2表面改性的方案。為提高二氧化硅膜的抗水汽入侵能力、提高表面疏水性可以對表面二氧化硅層進行改性，引入疏水性有機基團，以降低表面自由能。（剩余5183字）

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