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摘要 熱彈性阻尼是決定微機(jī)械諧振器品質(zhì)因子上限的關(guān)鍵參數(shù)之一。以往熱彈性阻尼解析解只適用于完全覆蓋多層微梁結(jié)構(gòu)。由于制造工藝和實(shí)際功能需求，非完全覆蓋雙層梁為代表的復(fù)雜結(jié)構(gòu)形式更普遍?；诟道锶~傳熱定律，推導(dǎo)出非完全覆蓋雙層微梁諧振器熱彈性阻尼的解析解。同時(shí)利用數(shù)值方法和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了該解析解的有效性。（剩余10088字）
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非完全覆蓋雙層微梁諧振器熱彈性阻尼建模
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