接觸（觸針）式表面輪廓測量儀兩種校準方法的比較分析

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【摘要】本文對接觸（觸針）式表面輪廓測量儀的兩種校準方法進行比較。兩種校準方法的相同點：兩種校準方法都對儀器固有參數(shù)，如靜態(tài)測量力、輪廓垂直分量（Z軸）和水平分量（X軸）進行校準。兩種校準方法存在的差異：福建地方校準規(guī)范規(guī)定的方法是在固有參數(shù)基礎(chǔ)上將輪廓儀軟件系統(tǒng)里的直線度、弧度、角度等參數(shù)進行校準，系統(tǒng)地反映儀器特性；而京津冀地方校準規(guī)范規(guī)定的方法是采用量塊和平晶作為標準，利用其具有的研合性對輪廓儀軟件系統(tǒng)的階梯參數(shù)進行校準。（剩余5536字）