激光輔助水射流加工砷化鎵晶片微槽的實(shí)驗(yàn)研究

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摘要：

對(duì)干激光、低壓水射流輔助激光和激光輔助水射流技術(shù)加工砷化鎵晶片微槽進(jìn)行了對(duì)比實(shí)驗(yàn)，結(jié)果表明，激光輔助水射流技術(shù)適合加工砷化鎵材料，它能夠加工出晶片表面無污染、大深度、小熱影響區(qū)寬度、大深寬比的高質(zhì)量微槽，加工表面微觀形貌均勻、微裂紋少，優(yōu)于其他兩種加工方式。實(shí)驗(yàn)研究了激光輔助水射流加工砷化鎵晶片微槽的切割性能，結(jié)果表明，加工參數(shù)（激光脈沖能量、水射流壓力、加工速度、水射流傾斜角度、焦平面位置和加工次數(shù)）對(duì)微槽深度、微槽寬度和材料去除率具有顯著影響。（剩余18524字）