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高精度微球半徑測量模型及圓度評定方法比較

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摘要：

提出了一種基于回轉(zhuǎn)軸法和兩點法原理的高精度微球半徑測量模型，實現(xiàn)了基于半徑變化量的微球圓度評定。建立了可以分離主軸跳動誤差和計算各測量點對應(yīng)半徑的模型。利用團隊開發(fā)的基于高精度氣浮轉(zhuǎn)臺和兩個邁克爾遜干涉儀的微球圓度測量系統(tǒng)，對標稱直徑為300 μm、圓度為250 nm的紅寶石球的赤道圓截面進行了掃描測量。（剩余11965字）

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