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多晶硅生產(chǎn)中精餾節(jié)能減排的應(yīng)用研究

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摘 要:針對現(xiàn)行工藝在多晶硅生成中應(yīng)用存在蒸汽消耗量較大和能耗較高的問題,本文提出多晶硅生產(chǎn)中精餾節(jié)能減排的應(yīng)用研究。對多晶硅生產(chǎn)原料進(jìn)行篩分、粉碎和研磨處理,利用礦熱爐對其粗餾,采用多效精餾技術(shù)進(jìn)行粗餾物精餾提純,并引入直接壓縮式熱泵精餾技術(shù)對精餾單元中的熱量進(jìn)行重復(fù)利用,實(shí)現(xiàn)精餾節(jié)能減排,采用硅烷工藝對精餾提取到的三氯化硅進(jìn)行分裂處理,制備多晶硅,實(shí)現(xiàn)基于精餾節(jié)能減排的多晶硅生產(chǎn)。(剩余5411字)

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