基于薄膜傳感器的傳動(dòng)錐齒輪柔性測(cè)試技術(shù)

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摘 要： 通過(guò)分析濺射氣壓對(duì)PdCr 薄膜電阻溫度系數(shù)的影響以及退火條件對(duì)Pt 薄膜電阻率的影響，采用掩模板方法實(shí)現(xiàn)應(yīng)變薄膜與熱電阻薄膜圖形化處理，并利用高溫銀漿燒結(jié)實(shí)現(xiàn)引線與敏感層薄膜的穩(wěn)定連接，建立由Ni 基合金基帶、Y2O3 過(guò)渡層、AlON-Al2O3 復(fù)合絕緣層、PdCr 應(yīng)變敏感層/Pt 熱電阻敏感層、Al2O3 防護(hù)層組成的薄膜傳感器設(shè)計(jì)方法。（剩余1171字）