靜電驅(qū)動微鏡參數(shù)激勵下的亞諧振動分析

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摘要： 參數(shù)振動廣泛存在于多物理場耦合的微機電系統(tǒng)中。為研究靜電驅(qū)動微鏡系統(tǒng)中存在的參數(shù)共振非線性動力學(xué)問題，以一類靜電梳齒驅(qū)動微鏡為例，通過七次多項式擬合梳齒電容變化并建立微鏡動力學(xué)模型，研究不同因素下系統(tǒng)的參數(shù)共振響應(yīng)變化。研究了靜態(tài)下微鏡結(jié)構(gòu)參數(shù)變化對扭轉(zhuǎn)角度的影響規(guī)律；應(yīng)用多尺度法分析了諧振狀態(tài)下系統(tǒng)參數(shù)對共振幅值變化的影響規(guī)律并對系統(tǒng)參數(shù)共振進行了數(shù)值驗證；最后利用Runge?Kutta法對系統(tǒng)亞諧參數(shù)共振的穩(wěn)定性進行了分析與驗證。（剩余11465字）