p型TOPCon晶體硅太陽(yáng)電池局域硼重?fù)诫s發(fā)射極的光電性能研究

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中圖分類號(hào)：TM914.4+1；TK514 文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A

0 引言

在全球氣候變暖及化石能源日益枯竭的大背景下，大力發(fā)展可再生能源已成為世界各國(guó)的共識(shí)，其中太陽(yáng)能是所有可再生能源增長(zhǎng)中最快的能源之一。隧穿氧化層鈍化接觸電池（tunnel oxide passivating contact，TOPCon 或 poly-crystallineSionoxide，POLO）采用極薄二氧化硅 SiO2 ，1＼～2nm ）和重?fù)诫s硅薄膜（poly-Si）的疊層膜作為鈍化接觸，具有極好鈍化性能 （J0，1～2fA/cm2） 和低接觸電阻 （ρc，<1mΩ ：cm2）[1-6] 。（剩余12124字）