電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法測定工業(yè)硅中鐵、鋁、鈣元素含量的不確定度評定

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摘  要：該文對電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法測定工業(yè)硅中鐵、鋁、鈣元素含量的方法進(jìn)行描述，系統(tǒng)分析不確定來源，對數(shù)據(jù)進(jìn)行采集和量化，計(jì)算得出不確定度分量、合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度、擴(kuò)展不確定度。根據(jù)評定結(jié)果分析得出，標(biāo)準(zhǔn)曲線擬合中曲線變動(dòng)性產(chǎn)生的不確定度最大。

關(guān)鍵詞：電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法；工業(yè)硅；鐵；鋁；鈣；擴(kuò)展不確定度

中圖分類號(hào)：TG115       文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A          文章編號(hào)：2095-2945（2023）19-0067-04

Abstract： In this paper， the method of determining the content of iron， aluminum and calcium in industrial silicon by inductively coupled plasma atomic emission spectrometry is described， and the sources of uncertainty are analyzed systematically. Through data collection and quantitative calculation， the uncertainty component， composite standard uncertainty and extended uncertainty are obtained. According to the analysis of the evaluation results， it is concluded that the uncertainty caused by curve variation is the largest in standard curve fitting.

Keywords： inductively coupled plasma atomic emission spectrometry; industrial silicon; iron; aluminum; calcium; extended uncertainty

工業(yè)硅作為重要的化工原料，在我國經(jīng)濟(jì)發(fā)展中具有特殊的地位，是新能源、新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展中不可或缺的重要材料，在光伏和半導(dǎo)體領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。（剩余1371字）