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摘 要： 本文介紹了在多層反射鏡釕表面原位清洗錫及其氧化污染物的實驗研究. 實驗通過物理氣相沉積（PVD）方法制備顆粒狀和薄膜狀錫及其氧化污染物，并采用朗繆爾探針和減速場離子能量分析儀（RFEA）對不同功率的氫等離子體進行了系統(tǒng)分析. 對比顆粒狀和薄膜狀錫及其氧化污染物的清洗速率后發(fā)現(xiàn)，顆粒狀污染物（剩余2222字）
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釕表面上錫及其氧化污染物的原位清洗研究
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