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電芬頓CMP拋光液中磨粒的分散性研究及中性環(huán)境下綠色拋光液的設計

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摘要 芬頓反應是一種能產(chǎn)生強氧化性羥基自由基(·OH)的綠色氧化反應,選用三聚磷酸鈉(STPP)為外加電解質(zhì)、金剛石為磨粒,比較STPP、NaCl和Na2SO4對芬頓反應中金剛石磨粒分散穩(wěn)定性的影響,并研究該綠色拋光液在不同pH值下對電芬頓拋光液中金剛石磨粒的抗沉降能力、Zeta電位以及拋光液粒徑的影響,并對GaN晶圓的拋光效果進行驗證。(剩余16198字)

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