高精度傳感器溫度漂移補(bǔ)償分析與研究

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摘 要 針對高精度位移傳感器的測量精度因受溫度影響產(chǎn)生非線性誤差，關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)發(fā)生較大偏移的問題，對高精度位移傳感器的溫度漂移補(bǔ)償進(jìn)行研究，通過對系統(tǒng)組成和實(shí)現(xiàn)原理的分析，設(shè)計(jì)硬件補(bǔ)償（電橋電路和補(bǔ)償電路）和軟件補(bǔ)償（數(shù)字濾波、查表法及曲線擬合算法等），對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行深入分析、研究和建模，有效抑制了溫度變化對傳感器測量精度的影響，提升了高精度位移傳感器的測量精度和線性度。（剩余7320字）