濕電子化學(xué)品的微粒子控制與量測(cè)

摘要：隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)上游的濕電子化學(xué)品項(xiàng)目如雨后春筍般快速興起。由于半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)越來(lái)越先進(jìn)，對(duì)濕電子化學(xué)品的品質(zhì)要求也越來(lái)越高。在濕電子化學(xué)品行業(yè)中，金屬陽(yáng)離子、微粒子、陰離子等是最關(guān)鍵的幾個(gè)指標(biāo)，其中就微粒子的控制與量測(cè)進(jìn)行了探討。

關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體；濕電子化學(xué)品；微粒子

濕電子化學(xué)品，統(tǒng)稱(chēng)為工藝化學(xué)品，是微電子、光電子濕法工藝制程中使用的各種液體化工材料的總稱(chēng)［1］。（剩余3119字）