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多孔GaN/Ga2O3 異質(zhì)結(jié)雙波段紫外光探測器的制備及性能研究

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摘要：以NaNO3 溶液作為刻蝕溶液、使用紫外輔助電化學(xué)方法刻蝕的多孔GaN 作為襯底，使用射頻磁控濺射法在GaN 襯底上沉積Ga2O3 并退火處理，制備了含多孔GaN/β-Ga2O3 異質(zhì)結(jié)的高響應(yīng)度紫外光探測器。該探測器能夠?qū)崿F(xiàn)對短波紫外光和長波紫外光的靈敏探測，雙波段探測性能可通過調(diào)節(jié)電壓實現(xiàn)。（剩余6906字）

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