提高金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器抗?jié)穹€(wěn)定性的方法研究

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摘要：測試環(huán)境中的水汽會(huì)干擾金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏材料的氣敏反應(yīng)，導(dǎo)致基線電阻漂移、響應(yīng)靈敏度降低等問題，從而顯著影響傳感器對目標(biāo)氣體的檢測。對水汽干擾氣體傳感器氣敏反應(yīng)的機(jī)制進(jìn)行了簡要闡述，重點(diǎn)對當(dāng)前抗?jié)駲z測的思路進(jìn)行了歸納總結(jié)。當(dāng)前較為廣泛開發(fā)的抗?jié)駲z測思路包括篩濾作用、捕水作用、傳感器表面調(diào)控3 大類，不同抗?jié)袼悸返慕M合可實(shí)現(xiàn)金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏材料抗?jié)窬S穩(wěn)和響應(yīng)性能的同步提升。（剩余9198字）