基于氮化鋁薄膜的二維模態(tài)諧振器雙模結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與仿真

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摘要：基于氮化鋁（aluminum nitride，AlN）壓電薄膜的二維模態(tài)諧振器（two-dimensional-mode resonators，2DMR）由于其較高的有效機(jī)電耦合系數(shù)k及其與集成電路工藝兼容等優(yōu)勢(shì)，引起了業(yè)內(nèi)廣泛的關(guān)注。然而，傳統(tǒng)的2DMR只研究單諧振模態(tài)，難以滿足多模無(wú)線通信系統(tǒng)的需求。（剩余14338字）