復(fù)雜曲面光學(xué)元件高精度面形檢測技術(shù)概述

打開文本圖片集

摘要：復(fù)雜曲面光學(xué)元件應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)中可以增大系統(tǒng)設(shè)計(jì)自由度，同時(shí)減少系統(tǒng)所需元件數(shù)量，有利于實(shí)現(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)的緊湊化、輕量化，被譽(yù)為現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)的變革性元件，被廣泛應(yīng)用于空間光學(xué)、光刻系統(tǒng)、汽車照明等領(lǐng)域，極大推動(dòng)了航天、國防及高科技民用事業(yè)的發(fā)展。然而，復(fù)雜曲面光學(xué)元件對(duì)面形精度要求較高，如何對(duì)其面形進(jìn)行高精度檢測從而指導(dǎo)加工成為限制該類元件大范圍應(yīng)用的瓶頸。（剩余63181字）