集成電路板制備裝置及關(guān)鍵技術(shù)研究
［關(guān)鍵詞］集成電路，制備裝置，關(guān)鍵技術(shù)
［中圖分類號］TN41 ［文獻標志碼］A ［文章編號］2095–6487（2024）10–0070–03
集成電路產(chǎn)業(yè)是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心，是支撐經(jīng)濟社會發(fā)展和保障國家安全的基礎(chǔ)性、戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。集成電路板是集成電路的重要一環(huán)，為促進集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，對集成電路板制備裝置及關(guān)鍵技術(shù)展開研究。（剩余4557字）