區(qū)熔多晶硅高壓?jiǎn)?dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

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0 引言

半導(dǎo)體行業(yè)的主要原材料是電子級(jí)多晶硅，它是半導(dǎo)體器件、集成電路、大功率電力電子器件的基礎(chǔ)性材料，尤其是區(qū)熔級(jí)多晶硅，區(qū)熔級(jí)多晶硅屬于電子級(jí)多晶硅細(xì)分產(chǎn)品，它的生產(chǎn)技術(shù)壁壘較高，海外企業(yè)占據(jù)全球市場(chǎng)主導(dǎo)地位，主要供應(yīng)商為德國(guó)瓦克集團(tuán)和挪威RECSilicon公司。區(qū)熔多晶硅的生產(chǎn)工藝主要是采用改良西門子法，即在化學(xué)氣相沉積（CVD）反應(yīng)器內(nèi)用氫氣還原三氯氫硅或硅烷氣加熱分解而得到。（剩余3042字）