錫摻雜對(duì)氧化鋅納米濕度傳感器性能提升研究

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摘 要：筆者構(gòu)建并研究了基于ZnO納米結(jié)構(gòu)的阻抗式濕度傳感器。首先采用水熱法合成了不同摻雜濃度的濕敏氧化鋅納米棒Zn1-xSnxO（x=0%，1%，3%，5%），然后通過(guò)介電泳操作將其在微加工叉指電極之間沉積。以納米結(jié)構(gòu)的氧化鋅為傳感元件，將處理后的樣品作為阻抗傳感器進(jìn)行測(cè)試。通過(guò)檢測(cè)氧化鋅阻抗隨濕度環(huán)境變化構(gòu)建阻抗式濕度傳感器。（剩余5512字）