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考慮晶格缺陷的單晶4H-碳化硅納米劃擦過程分子動(dòng)力學(xué)仿真研究

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中圖分類號(hào):TG580 文獻(xiàn)標(biāo)志碼:A

Abstract:The mechanismof nano-grinding of single crystal silicon carbide(SiC)with lattice defects remains unclear.A molecular dyna(剩余13956字)

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