激光誘導(dǎo)SiC 表面周期性結(jié)構(gòu)特性及其時空成像研究

打開文本圖片集

關(guān)鍵詞：飛秒激光；泵浦?探測；時空成像；激光誘導(dǎo)表面周期性結(jié)構(gòu)

中圖分類號：TN 249 文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A

引言

飛秒激光憑借其極短的脈沖寬度和極高的峰值功率等特點(diǎn)在材料微納加工方面有著獨(dú)特的優(yōu)勢，可以對金屬、半導(dǎo)體以及介質(zhì)等幾乎任何材料的表面或內(nèi)部實(shí)現(xiàn)微/納米級的精細(xì)加工。近年來，飛秒激光誘導(dǎo)表面納米結(jié)構(gòu)技術(shù)迅速發(fā)展成為一種強(qiáng)大、靈活的功能化表面制造技術(shù)，其中激光誘導(dǎo)周期表面結(jié)構(gòu)（laser induced periodic surface structures，LIPSS）技術(shù)[1]因其在金屬[2-3]、半導(dǎo)體[4-5]、陶瓷[6]、聚合物[7]等不同材料表面均可形成周期性結(jié)構(gòu)而得到廣泛關(guān)注。（剩余5572字）