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電容式MEMS壓力傳感器的優(yōu)化設計

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關鍵詞：MEMS；壓力傳感器；電容式；優(yōu)化設計

1 MEMS傳感器的發(fā)展現(xiàn)狀

MEMS 傳感器是利用微機械加工技術與電路集成技術發(fā)展起來的一種微型傳感器，能把外界物理信號、化學信號、生物信號和其他非電量信號，根據(jù)預設的規(guī)則，將其轉(zhuǎn)換成便于傳輸與分析處理的電信號，在MEMS器件中屬于使用最普遍的器件之一。（剩余2217字）

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