退火對(duì)電流體噴印線(xiàn)圈磁敏特性的影響

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摘要：研究了熱退火對(duì)不同電流體噴印方式制備的微納金屬線(xiàn)圈磁感應(yīng)特性的影響。首先，仿真分析了不同線(xiàn)圈參數(shù)對(duì)線(xiàn)圈電感性能的影響，設(shè)計(jì)了磁敏線(xiàn)圈結(jié)構(gòu)； 然后，使用電流體噴印設(shè)備進(jìn)行線(xiàn)圈制備，并利用磁場(chǎng)發(fā)生及檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)噴印線(xiàn)圈進(jìn)行性能表征；最后，對(duì)比了相同條件下（真空，300 ℃）退火前后不同電流體噴印方式制備的微納金屬線(xiàn)圈在均勻交變磁場(chǎng)下的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)隨激勵(lì)電壓/電流的變化規(guī)律。（剩余8759字）