氮化鋁粉體制備技術(shù)研究進展及展望

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摘要：目前，氮化鋁（AlN）粉體的主要制備方法包括碳熱還原法、直接氮化法、自蔓延高溫合成法、化學(xué)氣相沉積法和等離子體合成法，而碳熱還原法和直接氮化法是工業(yè)化制備高端氮化鋁粉體的主要方法。然而，由于現(xiàn)有制備方法自身的技術(shù)壁壘和國外的技術(shù)封鎖，國產(chǎn)氮化鋁粉體品質(zhì)亟待提高。相比于現(xiàn)有氮化鋁粉體制備方法，利用高溫、富氮、穩(wěn)定的純氮層流等離子體束制備高端氮化鋁粉體為高端氮化鋁粉體制備提供了新思路，也是有望提高國產(chǎn)氮化鋁粉體品質(zhì)的新方法。（剩余13287字）