熱處理對Bi2Te2.7Se0.3熱電薄膜形貌及性能的影響

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摘要  ：為研究熱處理對三元Bi2Te2.7Se0.3熱電薄膜形貌和性能的影響，采用恒電位沉積的方法制備了兩個熱電薄膜，通過X射線衍射、場發(fā)射掃描電鏡（FE-SEM）對其物相、形貌進行表征;通過臺階儀和霍爾效應測試系統(tǒng)對薄膜的膜厚和性能進行測試。研究結果表明，采用電化學沉積法制備的三元膜為純相Bi2Te2.7Se0.3，在（110）晶面有擇優(yōu)取向;掃描電鏡觀察結果表明，熱處理顯著改變了薄膜的微觀形貌，使得三元薄膜從“白菜葉”形貌變?yōu)橛杉{米片相互交叉組成的微球;霍爾效應測試結果表明，熱處理后薄膜的電導率得到了提高，載流子濃度則輕微降低。（剩余8919字）