數(shù)字集成電路的失效分析與技術(shù)研究

摘要：隨著社會(huì)的不斷發(fā)展，集成電路應(yīng)運(yùn)而生，并在人們的生產(chǎn)和生活中扮演著重要的角色，其集成度也從最初的小規(guī)模向中、大規(guī)模演進(jìn)。在集成電路生產(chǎn)中，硅是主要的材料，過(guò)去很長(zhǎng)一段時(shí)間里，以硅為基礎(chǔ)生產(chǎn)的集成電路占集成電路總數(shù)的90%以上。以硅為生產(chǎn)材料不僅可以提高集成電路的成品率，還可以縮小光刻線(xiàn)寬，而且單晶硅在質(zhì)量和尺寸上的工藝提升，還促進(jìn)了集成電路在監(jiān)控技術(shù)、測(cè)量技術(shù)、制造工藝、設(shè)計(jì)技術(shù)等方面的應(yīng)用發(fā)展。（剩余5762字）