等離子體加熱單晶體生長爐外部換熱器設(shè)計研究

打開文本圖片集

摘      要：針對射頻等離子體單晶體生長爐的射頻等離子體反應(yīng)器壁面溫度高并且接通射頻電源的導(dǎo)電線圈長期暴露于工作空間會存在的安全問題，設(shè)計研究出了新型螺旋纏繞管換熱器。首先理論計算螺旋纏繞管換熱器的主要結(jié)構(gòu)參數(shù)，然后利用有限元分析方法對螺旋纏繞管式換熱器進(jìn)行物理模型建立和數(shù)值模擬，最后根據(jù)螺旋纏繞管換熱器表面溫度數(shù)值分析結(jié)果，優(yōu)化其結(jié)構(gòu)參數(shù)。（剩余7959字）