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高頻下氧化鋁改性聚酰亞胺薄膜的介電性能研究

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摘      要:作為絕緣性能優(yōu)異的工程塑料,聚酰亞胺材料的研究及開發(fā)在微電子產(chǎn)業(yè)、5G通信技術(shù)領(lǐng)域具有舉足輕重的作用。然而傳統(tǒng)的聚酰亞胺材料介電常數(shù)為3.0~4.0,難以滿足現(xiàn)有技術(shù)要求。同時,目前關(guān)于聚酰亞胺單元結(jié)構(gòu)與其高頻下(10 GHz)介電性能之間關(guān)系的研究工作尚不完善。(剩余6455字)

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