電子級氫氟酸研究進(jìn)展

摘      要： 隨著電子信息時(shí)代的到來，電子芯片逐漸成為國家未來大力發(fā)展的主要產(chǎn)業(yè)。電子級氫氟酸作為芯片制作過程必需的化學(xué)品，也成為此產(chǎn)業(yè)上未來主要發(fā)展的方向。介紹了氫氟酸一般生產(chǎn)流程、等級分類以及電子級生產(chǎn)工藝、技術(shù)難點(diǎn)等。

關(guān)  鍵  詞：氫氟酸； 分類； 電子級

中圖分類號：TQ124.3     文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼： A     文章編號： 1004-0935（2023）08-1217-03

2021年3月13日，《中華人民共和國國民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展第十四個(gè)五年規(guī)劃和2035年遠(yuǎn)景目標(biāo)綱要》（以下簡稱《綱要》）發(fā)布，《綱要》中提到，加快智能制造、高端芯片等領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù)突破和應(yīng)用。（剩余5688字）