荷能離子作用對(duì)氧化鋁顆粒表面類金剛石薄膜生長(zhǎng)特性的影響

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摘要：為掌握表面改性氧化鋁顆粒的過程中顆粒表面類金剛石薄膜形貌的調(diào)控方法，基于空心陰極放電等離子體表面沉積系統(tǒng)，研究了不同形式的外施電壓作用下，生長(zhǎng)在氧化鋁顆粒表面的類金剛石膜層的形貌特征及不同膜層形貌的形成機(jī)制。通過對(duì)在不同條件下沉積的類金剛石膜層的形貌觀測(cè)發(fā)現(xiàn)，直流電壓作用下，膜層會(huì)完全保留顆粒的本征形貌特征；脈沖電壓作用下，膜層表面存在大量島狀凸起結(jié)構(gòu)，并基于膜層的生長(zhǎng)模式和荷能離子與基底發(fā)生的相互作用分析了膜層會(huì)出現(xiàn)上述兩種形貌的原因。（剩余24678字）