基于SPH-FEM 轉(zhuǎn)換算法的砷化鎵劃片損傷過程研究

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摘要：為了進一步提高半導(dǎo)體激光器巴條制造質(zhì)量，改善解理加工過程中劃片損傷情況，采用SPH-FEM 轉(zhuǎn)換算法研究劃片速度和載荷對單晶砷化鎵（gallium arsenide，GaAs）劃片損傷的影響?；趶V義胡克定律計算出砷化鎵{100}晶面<110>晶向的各向異性機械力學(xué)特征參數(shù)，采用SPHFEM轉(zhuǎn)換算法仿真金剛石刀頭劃片實驗，將劃片過程中損傷的有限元轉(zhuǎn)換為粒子，研究損傷粒子在刀頭作用下的運動軌跡，確定出劃片的損傷過程。（剩余7614字）