GaN MOS-HEMT生物傳感器對于GO_X的靈敏度檢測

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摘  要：文章介紹一種高分辨率的AlGaN/AlN/GaN金屬氧化物半導(dǎo)體——高電子遷移率晶體管（HEMT），并研究GaN MOS-HEMT生物傳感器對于葡萄糖生物標(biāo)志物GOX（葡萄糖氧化酶）靈敏度檢測的可行性。與傳統(tǒng)用于葡萄糖檢測的生物傳感器進(jìn)行對比發(fā)現(xiàn)，以HfO2作為柵極電解質(zhì)，可以改善器件性能，增強(qiáng) MOS-HEMT 器件的漏極電流，提升器件的靈敏度。（剩余5804字）