共面式MEMS氣體傳感器微熱板設(shè)計(jì)與仿真

打開文本圖片集

摘 要：【目的】常見膜式結(jié)構(gòu)和懸浮式結(jié)構(gòu)的MEMS氣體傳感器在垂直方向上存在寄生電場，會對氣體傳感器的檢測信號造成一定影響。為了降低寄生電場對氣體傳感器性能的影響，提出了一種共面結(jié)構(gòu)的MEMS氣體傳感器，并對其微熱板進(jìn)行了建模仿真及優(yōu)化?！痉椒ā坷肧olidWorks對共面式MEMS氣體傳感器進(jìn)行建模，并通過有限元分析方法從熱穩(wěn)定性、機(jī)械穩(wěn)定性等方面對微熱板進(jìn)行了仿真。（剩余9445字）