二氧化硅平面波導集成光開關(guān)器件研究

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摘要：基于二氧化硅平面光波導平臺，設(shè)計并制作了一種多模干涉馬赫曾德型的低功耗熱光開關(guān)。該器件結(jié)合了多模干涉耦合器的穩(wěn)定性及二氧化硅波導和熱光開關(guān)的低損耗等優(yōu)勢。經(jīng)仿真，對器件參數(shù)進行了優(yōu)化，并討論了金屬層與波導的間距對傳輸光強及功耗的影響。測試結(jié)果表明，該器件的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，偏振依賴小，插入損耗低于2dB，能實現(xiàn)開關(guān)的轉(zhuǎn)換，功耗為450mW 左右，開關(guān)響應時間為103μs 和113μs，在1564nm 工作波長下消光比超過16dB，尺寸為2.30cm×0.25mm。（剩余11821字）