n型“SE+TOPCon”太陽電池硼擴(kuò)散氧化推結(jié)過程中的濕氧化工藝研究

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摘 要：為了探究濕氧化工藝在疊加選擇性發(fā)射極（SE）技術(shù)的n型隧穿氧化層鈍化接觸（TOPCon）太陽電池（下文簡稱為“n型‘SE+TOPCon’太陽電池”）制備工藝中的作用，在制備此類太陽電池的硼擴(kuò)散工藝氧化推結(jié)過程中增加了濕氧化工藝，通過實驗對比干氧化工藝和濕氧化工藝，研究了濕氧化工藝對硼硅玻璃（BSG）層厚度，重?fù)诫s區(qū)和輕摻雜區(qū)的方阻、硼摻雜濃度和結(jié)深，以及輕摻雜區(qū)鈍化效果和重?fù)诫s區(qū)接觸效果的影響。（剩余8584字）