半導(dǎo)體潔凈室污染物擴(kuò)散特性研究

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摘 要： 隨著集成電路集成度越來(lái)越高，對(duì)半導(dǎo)體潔凈室潔凈度的要求也逐漸變高，因此對(duì)潔凈室內(nèi)污染物濃度的控制顯得尤為重要.文中針對(duì)某潔凈室內(nèi)不同位置設(shè)備的開(kāi)啟狀態(tài)對(duì)污染物擴(kuò)散的影響進(jìn)行了數(shù)值模擬，比較了6種開(kāi)啟方案的速度場(chǎng)和濃度場(chǎng).結(jié)果表明：活塞流能夠有效控制污染物的擴(kuò)散；處于活塞流區(qū)域的工作人員呼吸（剩余7994字）