氧化鎢-氧化鋅憶阻器的制備及其神經(jīng)突觸特性

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文章編號(hào)：1671-3559（2024）03-0362-07DOI：10.13349/j.cnki.jdxbn.20230419.001

摘要： 為了實(shí)現(xiàn)憶阻器在神經(jīng)形態(tài)計(jì)算中的應(yīng)用，采用射頻磁控濺射技術(shù)，在氧化銦錫導(dǎo)電玻璃襯底上依次生長(zhǎng)氧化鎢、 氧化鋅異質(zhì)結(jié)的阻變層和銀頂電極，制備氧化鎢-氧化鋅憶阻器，對(duì)制得憶阻器的結(jié)構(gòu)、 化學(xué)組成及電學(xué)性能進(jìn)行表征和測(cè)試。（剩余13055字）