熱致相分離法制備用于濕電子化學(xué)品純化的聚苯硫醚微濾膜

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關(guān)鍵詞：膜分離技術(shù)；聚苯硫醚；熱致相分離；耐溶劑性；濕電子化學(xué)品

濕電子化學(xué)品是指那些主要成分純度超過99.99%、雜質(zhì)離子和微粒數(shù)量極少的化學(xué)試劑，主要用于集成電路、液晶顯示、太陽能電池、LED等精細(xì)電子領(lǐng)域。行業(yè)內(nèi)，國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會制定了半導(dǎo)體制程設(shè)備安全準(zhǔn)則（SEMI），將顆粒物大小及濃度作為劃分濕電子化學(xué)品等級的主要依據(jù)。（剩余6753字）