碳化硅陶瓷的磨削損傷特性

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關(guān)鍵詞碳化硅陶瓷；磨削加工；磨粒未變形最大磨屑厚度；表面/亞表面損傷中圖分類號 TB32;TG58 文獻標志碼 A文章編號 1006-852X（2025）02-0176-13DOI碼 10.13394/j.cnki.jgszz.2024.0030收稿日期 2024-02-19修回日期 2024-05-16

碳化硅陶瓷因具有良好的熱穩(wěn)定性、耐磨性、耐腐蝕性、高硬度以及較低的熱膨脹系數(shù)被廣泛應用于航空航天、電子設備、汽車工業(yè)、生物醫(yī)療等領(lǐng)域[1-2]磨削加工是實現(xiàn)碳化硅陶瓷高效、高性能制造的典型加工方法[3，但由于材料本身的高脆性及其內(nèi)部存在的大量氣孔、位錯、晶界等結(jié)構(gòu)，并且碳化硅陶瓷的磨削損傷受多種因素影響，其在磨削加工中容易產(chǎn)生破碎、裂紋等缺陷，這不僅嚴重影響材料加工質(zhì)量，同時也使得研究難度增加[4。（剩余18336字）