ZrYN 層厚度對CrN/ZrYN 納米多層膜微觀結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能的影響

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摘要：采用磁控濺射技術(shù)在單晶Si 基片上交替沉積CrN 層、ZrYN 層，制備不同厚度ZrYN 層的CrN/ZrYN 納米多層膜。利用X 射線衍射儀、掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、納米壓痕儀表征納米多層膜的微觀結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能。結(jié)果表明：隨著ZrYN 層厚度的增大，納米多層膜中CrN 相的結(jié)晶程度呈現(xiàn)出先上升后下降的趨勢；納米多層膜的硬度、彈性模量、韌性也呈現(xiàn)出先增大后減小的趨勢；當(dāng)ZrYN 層厚度為0.9 nm 時，納米多層膜具有最高的硬度、彈性模量、韌性，分別為20.3 GPa、210.4 GPa、2.25 MPa·m1/2。（剩余11454字）