平面漏斗形微腔集成的高性能長波紅外探測器

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摘要： 為實現(xiàn)量子阱紅外光探測器件對垂直于阱結(jié)構(gòu)的入射光吸收，減小模式體積，降低暗電流，提高比探測率 D*，提高紅外光探測器件性能，以 10.55 μm 長波紅外光為例，利用等離激元微腔與量子阱材料結(jié)合，形成 F-P 共振，增加 GaAs/AlGaAs 量子阱層的吸收率和器件的響應(yīng)率。設(shè)計了平面漏斗形等離激元微腔集成的量子阱紅外探測器（quantum well infrared photodetector，QWIP），使用基于有限元數(shù)值仿真方法對其進行分析。（剩余9631字）